Основно оборудване на автоматизирана производствена линия за почистване на PR за производители на LCD дисплеи
Автоматизираната производствена линия за почистване на PR (фоторезист) е основно оборудване за мокър процес в производството на LCD дисплеи. Използва се основно след процеса на фотолитография върху субстрата на матрицата за цялостно отстраняване на остатъчния фоторезист, остатъците от ецване и повърхностните микро-замърсители. Това е ключово оборудване за осигуряване на прецизност на веригата на панела и подобряване на добива на продукта. Перфектно подходящ за строгата производствена среда на чиста стая от клас 100, той постига високо-прецизни, автоматизирани и -незамърсяващи-затворени{7}}почистващи операции.
Насочвайки се към положителния и отрицателния остатък от фоторезист след фотолитографския процес, той използва много-етапно ултразвуково почистване + процес на изплакване с преливник с чиста вода за дълбоко отстраняване на отломки, органични замърсители, частици прах и други примеси, останали след фотолитографско ецване. Той може напълно да отстрани микроскопични остатъци под 0,5 μm, предотвратявайки дефекти като отворени вериги на панела, ярки петна и петна Mura, причинени от примеси. В комбинация със система за филтриране с висока{6}}прецизност от 0,1 μm предотвратява вторично замърсяване. Постига цялостно отстраняване-без повреди, избягвайки въздействието на остатъчните адхезивни слоеве върху последващите процеси на ецване и нанасяне на покритие, със степен на покритие на отстраняването от 100%.
Вграденият-модул за електростатично управление ESD стриктно контролира електростатичната стойност в диапазона от По-малко или равно на ±100V. Комбиниран с анти{3}}статичния материал с кухина и без{4}}контактна технология за доставяне на магнитно колело, той избягва електростатичния разряд да повреди прецизната верига на панела, като същевременно предотвратява драскотини, отчупване и генериране на прах от триене върху стъкления субстрат, като по този начин увеличава максимално защитата на целостта на субстрата.
Камера за изпитване с постоянна температура при висока и ниска температура
Ядрото на автоматизираното оборудване за производствена линия за почистване и сушене за производителите на LCD екрани интегрира двоен режим на сушене: рязане с въздушен нож и сушене с горещ въздух при постоянна-температура. Това бързо премахва водните петна от повърхността на субстрата, постигайки изсъхване-без водни знаци и-без следи. След изсъхване съдържанието на влага на повърхността на субстрата се доближава до нула, което позволява директно прехвърляне към следващия процес без вторична обработка, осигурявайки непрекъснатост на процеса. PLC система за управление позволява напълно автоматизирана работа в затворен-циклин на товарене, позициониране, почистване и разтоварване. Поддържа-наблюдение в реално време и алармени функции за регулиране на концентрацията на почистващия разтвор, температурата, влажността и чистотата. Запечатаната камера и конструкцията с градиентно отрицателно налягане предотвратяват изтичането на химически газ. В комбинация със средата с положително налягане на чиста стая от клас 100, той също така позволява рециклиране на свръхчиста вода и класифициране и оползотворяване на отпадъчни течности, отговаряйки както на изискванията за-спестяване на енергия, така и на изискванията за опазване на околната среда.
В сравнение с традиционното ръчно почистване, напълно автоматизираните PR почистващи производствени линии имат незаменими предимства: ефективността на почистване се увеличава с повече от 3 пъти и близо 10 000 стъклени субстрата могат да бъдат обработени на смяна, което значително съкращава цикъла на процеса; консистенцията на почистване е отлична, старателно премахва микро-остатъци, по-малки от 0,5 μm, контролира процента на дефектите на панела до 0,5 PPM, ефективно избягвайки дефекти като ярки петна, тъмни петна и прекъсвания на веригата на екрана; оборудването е с водо{6}}и енерго-спестяващ дизайн, с висока степен на възстановяване на чиста вода и класифицирано събиране и пречистване на отпадъчни води, отговарящо на производствените изисквания за опазване на околната среда; цялата машина е изработена от устойчиво на корозия-PVC и SUS304 неръждаема стомана, със силно уплътнение, лесно почистване и поддръжка и е подходяща за 24-часова непрекъсната работа в чисти помещения, превръщайки се в стандартно оборудване за производителите на LCD екрани за изграждане на продуктови линии от висок клас и повишаване на основната конкурентоспособност.
Основно оборудване в работилницата за фотолитография на производителите на LCD дисплеи
Оборудването за експониране е основното оборудване в работилницата за фотолитография и ключова технологична област в процеса на производство на LCD масиви. Известна още като машина за панелна литография, тя е високо-прецизно оптично устройство за мокър процес. Неговата основна функция е да прехвърли модела на дизайна на субстратната верига върху стъклен субстрат, покрит с фоторезист чрез оптично излагане, което е от решаващо значение за формирането на микро-вериги в панела. Прецизното прехвърляне на модела на веригата от фотомаската към стъкления субстрат е предпоставка за последващи процеси на ецване, покритие и PR почистване, определящи директно качеството на екрана на дисплея. Оборудването използва без{6}}контактен процес на експониране, подходящ за големи-размери, тънки LCD стъклени субстрати, като се избягват драскотини, повреди и замърсяване на субстрата.
Основните технологични акценти включват система за високо-прецизно подравняване с точност на наслагване на микронно-ниво или дори под-микронно-ниво, осигуряваща нулево несъответствие в много-слойно подреждане на вериги с грешки, контролирани до няколко хилядни от диаметъра на косъм; използването на светлинен източник с еднаква експозиция и технология за динамично фокусиране за постигане на флуктуации на енергията на експозиция<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
Цялата работилница използва 589nm монохроматичен жълт светлинен източник, който напълно филтрира светлина с къса{1}}дължина на вълната, като ултравиолетова, синя и бяла светлина, предотвратявайки тези лъчи от преждевременно задействане на фотохимични реакции във фоторезиста, причинявайки фатални дефекти като разминаване на шаблона, непълни линии, къси съединения и отворени вериги. Осветителната система използва комбинация от специални жълти светодиоди и дву-слойни филтри за предотвратяване на изтичане на разсеяна светлина; вратите, прозорците и прозорците за наблюдение са оборудвани с анти-ултравиолетови филтърни материали; мобилни телефони, фотоапарати, мощни-фенерчета и други външни източници на светлина са строго забранени в работилницата и е въведен пълен-контрол на дисциплината на осветеността, за да се елиминира рискът от преждевременно излагане на фоторезист от източника.
Въведение в чистите стаи от клас 100 за производителите на LCD дисплеи
В областта на високо{0}}прецизното производство на LCD дисплеи чистите стаи от клас 100 (чисти стаи от клас 5 по ISO) са основното производствено съоръжение и ключов показател за техническата сила и производителността на продукта на производителя. Те се използват широко в основните етапи на процеса като масиви, сглобяване на клетки и опаковане на модули от водещи компании за дисплеи като BOE, TCL CSOT, HKC и Tianma. Тези чисти помещения имат строги стандарти за чистота, с не повече от 100 суспендирани прахови частици, по-големи или равни на 0,5 μm в диаметър на кубичен фут въздух (по-малко или равно на 3520 на кубичен метър). Това ниво на чистота далеч надхвърля това на медицинските операционни зали, служейки като "твърда бариера", за да се предотврати намесата на прах, статично електричество и химически замърсители в прецизните процеси. Това е основен хардуерен компонент, който директно определя качеството на изображението на екрана, продължителността на живота и степента на производителност.
Цехът е проектиран и изграден стриктно в съответствие с международните и местни стандарти ISO. Той използва режим на вертикален еднопосочен въздушен поток, съчетан с четири-степенна ULPA филтрираща система (предварителен-филтър, средно-ефективен филтър, високо-ефективен филтър и ултра-високо-ефективен филтър), постигайки ефективност на филтриране до 99,999%, осигурявайки незабавно отстраняване на прах и елиминиране на мъртвите зони на въздушния поток. Едновременно с това се постига прецизен контрол на околната среда във всички измерения: постоянна температура от 23±1 градуса, относителна влажност, контролирана на 45%-55%, състояние на положително налягане, поддържано в чистата зона, и разлика в налягането, по-голяма или равна на 10Pa между съседните зони, напълно предотвратявайки проникването на външен прах; като се има предвид чувствителността на дисплеите към електростатични повреди, се използва анти{15}}статична епоксидна само-нивелираща се подова настилка и 304 цветни стоманени плочи от неръждаема стомана и чисти помещения се използват за стени и тавани, със строг контрол на стойностите на статичното електричество по време на целия процес; осигурен е допълнителен контрол за химически замърсители на VOC на молекулярно-ниво и латентна интерференция като микровибрации, отговарящи на изискванията на наномащабни процеси като фотолитография, отлагане на тънък слой и инжектиране на течни кристали.
Работилницата възприема многостепенен дизайн на зониране на чисти помещения, разделен на основна зона от клас 100, буферна зона от клас 1000 и спомагателна зона от клас 10 000, със слоеве, предотвратяващи кръстосано-замърсяване, а персоналът и автоматизираните транспортни линии за материали са напълно разделени. Персоналът трябва да премине през троен процес на преобличане, въздушен душ и електростатично откриване и може да влезе само след носене на-костюм за чиста стая за цялото тяло, ръкавици-без прах и очила; материалите се прехвърлят през свързани трансферни прозорци и се подлагат на обработка за отстраняване на прах и статично електричество; интериорът е оборудван с абсорбатори с ламинарен поток FFU, онлайн броячи на частици, сензори за температура и влажност, монитори за диференциално налягане и друго оборудване за постигане на 24-часово наблюдение в реално време и проследимост на данните и незабавно ще издава предупреждения и ще прави корекции в случай на необичайни индикатори, за да осигури непрекъсната стабилност на околната среда.
